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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T 31227-2014 Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 31227-2014
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J04 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
国际标准分类号（ICS）
17.040.20
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
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研制信息

起草单位：
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：
李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
出版信息：
页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开

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