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GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T 30857-2014 Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

国家标准 中文简体 现行 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 30857-2014
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H21 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2014-07-24
实施日期
2015-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
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研制信息

起草单位:
协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司
起草人:
魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮
出版信息:
页数:8页 | 字数:6 千字 | 开本: 大16开