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GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

GB/T 30652-2014 Trichlorosilane for silicon epitaxial

国家标准 中文简体 被代替 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 30652-2014
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H83 硅外延用三氯氢硅
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
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研制信息

起草单位：
中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司
起草人：
柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙
出版信息：
页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开

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