关闭预览GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
GB/T 30656-2023 Polished monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 30656-2023
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H83 碳化硅单晶抛光片
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2015-09
-
2023-10
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研制信息
- 起草单位：
- 北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
- 起草人：
- 陈小龙、彭同华、佘宗静、王波、刘春俊、李素青、郭钰、娄艳芳、郑红军、杨建、骆红、钮应喜
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开
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