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GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱

GB/T 30453-2013 Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

国家标准 中文简体 现行 页数：88页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 30453-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅材料原生缺陷图谱
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
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研制信息

起草单位：
有研半导体材料股份有限公司、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人：
孙燕、曹孜、翟富义、杨旭、谭卫东、黄笑容、楼春兰、王飞尧、石宇、刘云霞、陈赫、梁洪、罗莉萍、李咏梅、齐步坤、李慧、向磊
出版信息：
页数：88页 | 字数：151 千字 | 开本： 大16开

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