关闭预览GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
GB/T 29844-2013 Specifications for metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 29844-2013
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2014-04
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研制信息
- 起草单位：
- 上海华虹NEC电子有限公司
- 起草人：
- 王雷、伍强、朱骏、陈宝钦
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开
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