关闭预览GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
GB/T 29505-2013 Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
国家标准
中文简体
现行
页数：32页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 29505-2013
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2014-02
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人：
- 孙燕、李莉、卢立延、翟富义、向磊
- 出版信息：
- 页数：32页 | 字数：52 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 29506-2013 300 mm硅单晶抛光片 2013-05-09
- GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 2013-05-09
- GB/T 29508-2013 300 mm硅单晶切割片和磨削片 2013-05-09
- GB/T 29509.1-2013 载金炭化学分析方法 第1部分：金量的测定 2013-05-09
- GB/T 29509.2-2013 载金炭化学分析方法 第2部分：银量的测定 火焰原子吸收光谱法 2013-05-09
- GB/T 2951.1-1997 电缆绝缘和护套材料通用试验方法 第1部分：通用试验方法 第1节：厚度和外形尺寸测量——机械性能试验 1997-10-28
- GB/T 2951.10-1997 电缆绝缘和护套材料通用试验方法 第5部分：填充膏专用试验方法 第1节：滴点——油分离——低温脆性——总酸值——腐蚀性——23℃时的介电常数——23℃和100℃时的直流电阻率 1997-10-28
- GB/T 2951.11-2008 电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法 第11部分：通用试验方法——厚度和外形尺寸测量——机械性能试验 2008-06-26
- GB/T 2951.12-2008 电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法 第12部分：通用试验方法——热老化试验方法 2008-06-26
- GB/T 2951.13-2008 电缆和光缆绝缘和护套材料通用试验方法 第13部分：通用试验方法——密度测定方法——吸水试验——收缩试验 2008-06-26
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 29579-2013 红棕象甲检疫鉴定方法
- 2 GB/T 29580-2013 时间法集中空调分户计量装置
- 3 GB/T 29581-2013 胡椒叶斑病菌检疫鉴定方法
- 4 GB/T 29582-2013 花生矮化病毒检疫鉴定方法
- 5 GB/T 29583-2013 黄顶菊检疫鉴定方法
- 6 GB/T 29584-2013 黄瓜黑星病菌检疫鉴定方法
- 7 GB/T 29585-2013 剪股颖粒线虫检疫鉴定方法
- 8 GB/T 29586-2013 苹果绵蚜检疫鉴定方法
- 9 GB/T 29587-2013 松疱锈病菌检疫鉴定方法
- 10 GB/T 29588-2013 松针褐斑病菌检疫鉴定方法
