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GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

GB/T 21287-2021 Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

国家标准 中文简体 现行 页数:16页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 21287-2021
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
G86 电子特气 三氟化氮
国际标准分类号(ICS)
71.100.20
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
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研制信息

起草单位:
昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人:
王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超
出版信息:
页数:16页 | 字数:25 千字 | 开本: 大16开