GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
GB/T 21287-2021 Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
国家标准
中文简体
现行
页数:16页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 21287-2021
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
G86 电子特气 三氟化氮
国际标准分类号(ICS)
71.100.20
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2008-07
-
2022-05
文前页预览
免费预览已结束,剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位:
- 昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
- 起草人:
- 王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超
- 出版信息:
- 页数:16页 | 字数:25 千字 | 开本: 大16开
推荐标准
- GB/T 19827-2005 技术产品文件 限制使用的文件和产品的保护注释 2005-07-01
- GB/T 7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢 1995-12-20
- GB 12319-2022 中国海图图式 2022-07-13
- CJ/T 540-2019 重力式污泥浓缩池悬挂式中心传动浓缩机 2019-10-28
- GB/T 45072-2024 自然保护地名词术语 2024-11-28
- GB/T 21109.1-2022 过程工业领域安全仪表系统的功能安全 第1部分:框架、定义、系统、硬件和应用编程要求 2022-10-12
- GB/T 42578-2023 北斗剖分时间码 2023-05-23
- GB/T 17101-1997 桥梁缆索用热镀锌钢丝 1997-11-11
- GB/T 43247-2023 遗体收殓运输卫生技术规范 2023-09-07
- GB/T 17456.1-2009 球墨铸铁管外表面锌涂层 第1部分:带终饰层的金属锌涂层 2009-10-30
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 32852.1-2016 城市客运术语 第1部分:通用术语
- 2 GA/T 168-2019 法医学 机械性损伤尸体检验规范
- 3 GB/T 36919-2019 有机发光二极管照明 术语和文字符号
- 4 JJG 973-2002 冲击测量仪
- 5 GB/T 2423.27-2020 环境试验 第2部分:试验方法 试验方法和导则:温度/低气压或温度/湿度/低气压综合试验
- 6 YS/T 273.6-2006 冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第6部分:钼蓝分光光度法测定二氧化硅含量
- 7 GB/T 39003.2-2023 工业自动化系统工程用工程数据交换格式 自动化标记语言 第2部分:语义学库
- 8 GB/T 15227-2019 建筑幕墙气密、水密、抗风压性能检测方法
- 9 YB/T 5016-2000 热风炉用高铝砖
- 10 YC/T 245-2008 烟草及烟草制品 氨的测定 连续流动法

关闭预览
