关闭预览GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
GB/T 21287-2007 Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
国家标准
中文简体
被代替
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 21287-2007
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体 三氟化氮
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2007-12-14
实施日期
2008-07-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
-
发布历史
-
2008-07
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研制信息
- 起草单位：
- 湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所
- 起草人：
- 余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：26 千字 | 开本： 大16开
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