关闭预览GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 20176-2006 Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 20176-2006
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N33 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2006-03-27
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2006-11
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研制信息
- 起草单位：
- 清华大学电子工程系
- 起草人：
- 查良镇、陈旭、黄雁华、王光普、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：32 千字 | 开本： 大16开
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