关闭预览GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 17169-1997 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
国家标准
中文简体
废止
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 17169-1997
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
H24 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
1997-12-22
实施日期
1998-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
适用范围
-
发布历史
-
1998-08
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研制信息
- 起草单位：
- 起草人：
- 李增发、王宏杰、张福祯、颜彩蘩、张光寅、邓江东
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
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