关闭预览GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-2019 Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16596-2019
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 确定晶片坐标系规范
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
1997-04
-
2020-02
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司
- 起草人：
- 卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 13744-1992 磁性和非磁性基体上镍电镀层厚度的测量 1992-11-04
- GB/T 43895-2024 增材制造 材料 模具钢粉 2024-04-25
- GB/T 35674-2017 电磁屏蔽用全方位导电海绵通用技术要求 2017-12-29
- GB/T 20014.7-2005 良好农业规范 第7部分：牛羊控制点与符合性规范 2005-12-31
- GB/T 23751.1-2009 微型燃料电池发电系统 第1部分：安全 2009-05-06
- GB/T 9766-2002 轮胎气门嘴试验方法 2002-09-24
- GB/T 26377-2010 逆反射测量仪 2011-01-14
- GB/T 20975.6-2020 铝及铝合金化学分析方法 第6部分：镉含量的测定 2020-09-29
- GB/T 4325.19-2013 钼化学分析方法 第19部分：铬量的测定 二苯基碳酰二肼分光光度法 2013-05-09
- CJ/T 521-2018 生活热水水质标准 2018-04-03
相似标准推荐
更多>- 1 YB/T 4082-2000 钢管自动超声探伤系统综合性能测试方法
- 2 GB/T 18646-2002 动物布鲁氏菌病诊断技术
- 3 BB/T 0066-2017 聚乙烯挤出发泡包装材料
- 4 GB/T 458-2008 纸和纸板 透气度的测定
- 5 HY/T 0308-2021 风暴潮灾害应急疏散图制作技术导则
- 6 YY/T 0070-2018 食管窥镜
- 7 YY/T 0606.5-2007 组织工程医疗产品 第5部分:基质及支架的性能和测试
- 8 GB/T 13465.5-2009 不透性石墨酚醛粘接剂收缩率试验方法
- 9 GB/T 10599-2023 多绳摩擦式提升机
- 10 GB 31604.36-2016 食品安全国家标准 食品接触材料及制品软木中杂酚油的测定
