关闭预览GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-2019 Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16596-2019
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 确定晶片坐标系规范
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
1997-04
-
2020-02
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研制信息
- 起草单位：
- 有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司
- 起草人：
- 卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
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