关闭预览GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范
GB/T 16596-1996 Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准
中文简体
被代替
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16596-1996
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 确定晶片坐标系规范
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
1996-11-04
实施日期
1997-04-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
中国有色金属工业总公司标准计量研究所
适用范围
-
发布历史
-
1997-04
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研制信息
- 起草单位：
- 中国有色金属工业总公司标准计量研究所
- 起草人：
- 吴福立
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
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