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GB/T 12963-2009 硅多晶

GB/T 12963-2009 Specification for polycrystalline silicon

国家标准 中文简体 被代替 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 12963-2009
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
H82 硅多晶
国际标准分类号(ICS)
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-

发布历史

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GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12963-2009 硅多晶
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研制信息

起草单位:
峨眉半导体材料厂
起草人:
罗莉萍、张辉坚、王炎
出版信息:
页数:8页 | 字数:7 千字 | 开本: 大16开