GB/T 12963-2009 硅多晶
GB/T 12963-2009 Specification for polycrystalline silicon
国家标准
中文简体
被代替
页数:8页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 12963-2009
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
H82 硅多晶
国际标准分类号(ICS)
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1997-04
-
2010-06
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研制信息
- 起草单位:
- 峨眉半导体材料厂
- 起草人:
- 罗莉萍、张辉坚、王炎
- 出版信息:
- 页数:8页 | 字数:7 千字 | 开本: 大16开
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