关闭预览GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T 11073-1989 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
国家标准
中文版
被代替
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 11073-1989
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片径向电阻率变化的测量方法
国际标准分类号（ICS）
29.040.30
发布日期
1989-03-31
实施日期
1990-02-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1990-02
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研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料研究所
- 起草人：
- 王鸿高、李英瑶、李家彦、过惠芬
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
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