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GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛

GB/T 46178-2025 Electronic grade tetrakis(dimethylamide) titanium

国家标准 中文简体 即将实施 页数：20页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 46178-2025
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
即将实施
中国标准分类号（CCS）
L90 电子级四(二甲氨基)钛
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2025-10-05
实施日期
2026-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛
GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛
GB/T 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛
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研制信息

起草单位：
南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、苏州源展材料科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、安徽博泰电子材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博)有限公司
起草人：
陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、陆平、史泽远、孙明璐、孙鹏、陈鹏宇、宣宗亮、张婷、张健、高周、高朋、鲁铮、郭威、赵俊莎、吴怡然、魏良杰、毛国玉、娄夏冰、王小亮、汪海燕、何晓晨、刘立伟、张汝志、孙丽丽、曹益宁、张宝帅、马得森、王博文、彭元兵、刘能巧、孟庆典、孙建、李雪、姚梦、华淑雅
出版信息：
页数：20页 | 字数：23 千字 | 开本： 大16开

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