关闭预览GB/T 46057-2025 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
GB/T 46057-2025 Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
国家标准
中文简体
即将实施
页数：52页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 46057-2025
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
即将实施
中国标准分类号（CCS）
G04 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2025-08-29
实施日期
2026-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2026-03
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽大学
- 起草人：
- 丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民
- 出版信息：
- 页数：52页 | 字数：79 千字 | 开本： 大16开
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