关闭预览GB/T 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃
GB/T 45826-2025 Titania doped silica glass for lithography
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 45826-2025
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
Q35 光刻用掺钛石英玻璃
国际标准分类号（ICS）
81.040.30
发布日期
2025-05-30
实施日期
2025-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
适用范围
-
发布历史
-
2025-12
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研制信息
- 起草单位：
- 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、玻璃新材料创新中心(安徽)有限公司、中国科学院微电子研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中建材玻璃新材料研究院集团有限公司、成都光明光电股份有限公司、成都光明光电有限责任公司、威海长和光导科技有限公司、南通晶体有限公司、中国计量科学研究院、中国科学院光电技术研究所、久智光电子材料科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、济南光微半导体科技有限公司、上海菲利华石创科技有限公司、神光光学集团有限公司、上海传芯半导体有限公司、成都路维光电有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、国检测试控股集团重庆检测有限公司
- 起草人：
- 张寒、聂兰舰、刘俊龙、夏郭俊、谢常青、张海涛、沈一春、钱宜刚、邵竹锋、王慧、刘焕敏、刘亚茹、王京侠、李佩悦、于浩、陈卫东、刘振禹、毛露路、云仕东、莫大洪、王世凯、裴广庆、曹欣、崔剑秋、黄婷、秦卫光、韩甫、金晓荣、黄芸、卢卫民、蔡晓峰、司继伟、郑宇辰、李弋舟、王亮亮、胡会容
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
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