关闭预览GB/T 44928-2024 微电子学微光刻技术术语
GB/T 44928-2024 Terms of microlithography technology for microelectronics
国家标准
中文简体
现行
页数：192页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 44928-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L90 微电子学微光刻技术术语
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2024-12-31
实施日期
2024-12-31
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2024-12
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子研究所
- 起草人：
- 陈宝钦、王香、李和委、王力玉、李新涛、冯伯儒、薛丽君、郝美玲、薛彩荣
- 出版信息：
- 页数：192页 | 字数：351 千字 | 开本： 大16开
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