关闭预览GB/T 44919-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
GB/T 44919-2024 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
国家标准
中文简体
现行
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 44919-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2024-11-28
实施日期
2024-11-28
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2024-11
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、深圳市美思先端电子有限公司、东南大学、芯联集成电路制造股份有限公司、中关村光电产业协会、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海交通大学、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司、武汉高德红外股份有限公司
- 起草人：
- 周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、焦斌斌、陈立国、杨剑宏、张平平、陈志文、陈思、马龙全、黄庆安、聂萌、谢红梅、陈晓梅、卢永红、张红旗、刘景全、高峰、黄晟
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开
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