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YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

YS/T 983-2014 Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas

行业标准 中文简体 废止 页数:8页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
YS/T 983-2014
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
废止
中国标准分类号(CCS)
H17 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2014-10-14
实施日期
2015-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-

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YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
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研制信息

起草单位:
四川新光硅业科技有限责任公司
起草人:
敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽
出版信息:
页数:8页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开