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YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

YS/T 936-2013 Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device

行业标准 中文简体 现行 页数：20页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 936-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H62 集成电路器件用镍钒合金靶材
国际标准分类号（ICS）
77.150.40
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
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研制信息

起草单位：
有研亿金新材料股份有限公司
起草人：
董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜
出版信息：
页数：20页 | 字数：28 千字 | 开本： 大16开

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