关闭预览YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013 Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
行业标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 936-2013
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H62 集成电路器件用镍钒合金靶材
国际标准分类号（ICS）
77.150.40
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2014-03
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研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料股份有限公司
- 起草人：
- 董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：28 千字 | 开本： 大16开
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