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YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

YS/T 893-2013 High-purity sputtering titanium target used in electronic film

行业标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 893-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H64 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
国际标准分类号（ICS）
77.150.50
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
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研制信息

起草单位：
有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
起草人：
何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

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