关闭预览YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
YS/T 839-2012 Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 839-2012
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H68 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.120.99
发布日期
2012-11-07
实施日期
2013-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2013-03
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研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
- 起草人：
- 高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
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