关闭预览YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
YS/T 839-2012 Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 839-2012
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H68 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.120.99
发布日期
2012-11-07
实施日期
2013-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2013-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
- 起草人：
- 高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 13730-2002 地区电网调度自动化系统 2002-11-29
- GB/T 37805-2019 竹缠绕复合管 2019-08-30
- GB/T 22929-2008 皮革毛皮衣物洗染规范 2008-12-30
- GB/T 31287-2014 全国组织机构代码应用 标识规范 2014-10-10
- GB/T 223.22-1994 钢铁及合金化学分析方法 亚硝基R盐分光光度法测定钴量 1994-01-17
- GB/T 44276.2-2024 显微镜 盖玻片 第2部分：材料质量、成品标准和包装方式 2024-08-23
- GB/T 3684-2021 输送带 导电性 规范和试验方法 2021-03-09
- GB/T 39032-2020 难燃刨花板 2020-07-21
- GB/T 21600-2008 危险品 包装气密试验方法 2008-04-01
- GB/T 39348-2020 空间数据与信息传输系统 遥测同步与信道编码 2020-11-19
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 33327-2016 紫外光固化涂料 贮存稳定性的评定
- 2 GB 12595-1990 工作基准试剂(容量) 硝酸银
- 3 GB/T 25159-2010 包装术语 非危险货物用中型散装容器
- 4 GB/T 6843-1986 感光材料涂层熔点测定方法
- 5 LY/T 1370-2002 原条造材
- 6 NB/T 11634-2024 煤矿用局部通风机低噪声结构设计与噪声限定要求
- 7 CJ/T 287-2008 跨座式单轨交通车辆通用技术条件
- 8 GB/T 5267.4-2009 紧固件表面处理耐腐蚀不锈钢钝化处理
- 9 GB 19332-2003 原产地域产品 常山胡柚
- 10 LY/T 1002-1991 车立柱
