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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定　堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016 Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size

行业标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 23-2016
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅外延层厚度测定　堆垛层错尺寸法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2016-04-05
实施日期
2016-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定　堆垛层错尺寸法
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定　堆垛层错尺寸法
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研制信息

起草单位：
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华
出版信息：
页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开

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