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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers

行业标准 中文简体 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 14-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
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研制信息

起草单位：
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华
出版信息：
页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

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