关闭预览YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片
YS/T 1167-2016 Monocrystalline silicon etched wafers
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1167-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H82 硅单晶腐蚀片
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2017-01
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研制信息
- 起草单位：
- 天津市环欧半导体材料技术有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、有研半导体材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司
- 起草人：
- 由佰玲、张雪囡、蒋建国、孙燕、王飞尧、沈浩平
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
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