JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
JJF 1613-2017 Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
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现行
页数:20页
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格式:PDF
基本信息
标准号
JJF 1613-2017
相关服务
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标准类型
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2017-02-28
实施日期
2017-05-28
发布单位/组织
国家质量监督检验检疫总局
归口单位
全国新材料与纳米计量技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2017-05
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研制信息
- 起草单位:
- 中国计量科学研究院
- 起草人:
- 任玲玲、高慧芳
- 出版信息:
- 页数:20页 | 字数:19 千字 | 开本: 大16开
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