齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览
  1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 中国国家标准 >
  4. GB/T 6621-2009

GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法

GB/T 6621-2009 Testing methods for surface flatness of silicon slices

国家标准 中文简体 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 6621-2009
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅片表面平整度测试方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
免费预览已结束，剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位：
上海合晶硅材料有限公司
起草人：
徐新华、严世权、王珍
出版信息：
页数：8页 | 字数：7 千字 | 开本： 大16开

推荐标准

相似标准推荐

更多>