关闭预览GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
GB/T 5226.33-2017 Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment
国家标准
中文简体
现行
页数：100页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 5226.33-2017
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J09 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
国际标准分类号（ICS）
29.020
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC 231)
适用范围
-
发布历史
-
2018-05
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研制信息
- 起草单位：
- 中微半导体设备(上海)有限公司
- 起草人：
- 李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟
- 出版信息：
- 页数：100页 | 字数：174 千字 | 开本： 大16开
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