关闭预览GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
GB/T 43748-2024 Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 43748-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N33 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
国际标准分类号（ICS）
71.040.50
发布日期
2024-03-15
实施日期
2024-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2024-10
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研制信息
- 起草单位：
- 广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司
- 起草人：
- 伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
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