关闭预览GB/T 43725-2024 直写成像式曝光设备
GB/T 43725-2024 Direct writing imaging exposure equipment
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 43725-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 直写成像式曝光设备
国际标准分类号（ICS）
31.260
发布日期
2024-03-15
实施日期
2024-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2024-10
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研制信息
- 起草单位：
- 合肥芯碁微电子装备股份有限公司、广州兴森快捷电路科技有限公司、安徽省工业和信息化研究院、深南电路股份有限公司、四创电子股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥矽迈微电子科技有限公司、深圳市克洛诺斯科技有限公司、深圳拜波赫技术有限公司
- 起草人：
- 何少锋、陈新、邱醒亚、乔书晓、沈桂珍、朱颖、陈黎阳、方林、曲鲁杰、许静平、陈东、崔良端、陆培良、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、李香滨、严孝年、鲁男、李娜、李照辉、吴新民
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：29 千字 | 开本： 大16开
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