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GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

GB/T 42676-2023 Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 42676-2023
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H21 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
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研制信息

起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、 北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司
起草人:
何烜坤、刘立娜、李素青、庞越、马春喜、许蓉、任殿胜、王元立、朱晓彤、李向宇、杨阳、潘金平、王书明、赵松彬、林泉、李国平、张新峰、赵丽丽、夏秋良
出版信息:
页数:12页 | 字数:17 千字 | 开本: 大16开

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