关闭预览GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 42263-2022 Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42263-2022
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2023-04
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
- 起草人：
- 马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 36349-2018 信息技术 学习、教育和培训 虚拟实验 数据交换 2018-06-07
- YY 0600.1-2007 医用呼吸机 基本安全和主要性能专用要求 第1部分:家用呼吸支持设备 2007-01-31
- FZ/T 21003-1998 分梳山羊绒 1998-03-24
- GB/T 10263.7-1988 辐射探测器环境试验基本要求与方法 盐雾试验 1988-12-30
- GB 4053.3-1993 固定式工业防护栏杆安全技术条件 1993-12-27
- GB/T 19668.7-2022 信息技术服务 监理 第7部分：监理工作量度量要求 2022-10-12
- GB/T 24880-2010 蒙古马 2010-06-30
- GB/T 37499-2019 燃气燃烧器和燃烧器具用安全和控制装置 特殊要求 自动和半自动阀 2019-06-04
- GB/T 19766-2016 天然大理石建筑板材 2016-08-29
- GB/T 41503-2022 不定形耐火材料 气动喷嘴混合型喷枪制备耐火喷射料试块 2022-05-13
相似标准推荐
更多>- 1 JG/T 168-2004 建筑门窗内平开下悬五金系统
- 2 GB/T 44447-2024 绿色产品评价 打印机及多功能一体机
- 3 NY/T 420-2000 绿色食品 花生(果、仁)
- 4 GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语
- 5 FZ/T 24018-2012 精梳毛麻织品
- 6 FZ/T 70009-2012 毛纺织产品经洗涤后松弛尺寸变化率和毡化尺寸变化率试验方法
- 7 GB/T 31396.3-2020 机床 分离爪自定心卡盘尺寸和几何精度检验 第3部分：梳齿配合型动力卡盘
- 8 GB/T 42230-2022 钢板卷道路运输捆绑固定要求
- 9 GB/T 7568.3-2008 纺织品 色牢度试验 标准贴衬织物 第3部分：聚酰胺纤维
- 10 GB/T 1690-2010 硫化橡胶或热塑性橡胶 耐液体试验方法
