关闭预览GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 42263-2022 Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42263-2022
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2023-04
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研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
- 起草人：
- 马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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