关闭预览GB/T 42158-2023 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
GB/T 42158-2023 Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
国家标准
中文简体
现行
页数：28页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42158-2023
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2023-07
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司
- 起草人：
- 张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广
- 出版信息：
- 页数：28页 | 字数：48 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB 24406-2024 专用校车学生座椅及其车辆固定件的强度 2024-06-25
- GB/T 4959-1995 厅堂扩声特性测量方法 1995-07-24
- NY/T 701-2003 莼菜 2003-12-01
- GB/T 38318-2019 电力监控系统网络安全评估指南 2019-12-10
- GB/T 26686-2011 地面数字电视接收机通用规范 2011-06-16
- GB 16279-1996 消防车定型试验规程 1996-04-05
- GB/T 4585.2-1991 交流系统用高压绝缘子人工污秽试验方法 固体层法 1991-06-06
- YY/T 1963-2025 结直肠癌相关基因甲基化检测试剂盒(荧光PCR法) 2025-06-18
- GB/T 16609-1996 红外传输的应用及系统间干扰的防护或控制的指南 1996-11-12
- GB/T 18746-2002 拉链术语 2002-06-13
相似标准推荐
更多>- 1 GA/T 1363-2016 警用装备仓库物资出库作业规范
- 2 GB/T 14914.4-2021 海洋观测规范 第4部分：岸基雷达观测
- 3 GB/T 24395-2009 食品工业用吸附树脂
- 4 GB/T 18147.5-2000 大麻纤维试验方法 第5部分：断裂强度试验方法
- 5 GB/T 34526-2017 混合气体气瓶充装规定
- 6 GB/T 7233-1987 铸钢件超声探伤及质量评级方法
- 7 GB/T 12915-1991 家用太阳热水器热性能试验方法
- 8 GB/T 19596-2004 电动汽车术语
- 9 GB/T 39929-2021 制鞋机械 压合成型机 安全要求
- 10 GB/T 3206-1982 优质碳素结构钢丝
