关闭预览GB/T 42158-2023 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
GB/T 42158-2023 Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
国家标准
中文简体
现行
页数：28页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42158-2023
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2023-07
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研制信息
- 起草单位：
- 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司
- 起草人：
- 张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广
- 出版信息：
- 页数：28页 | 字数：48 千字 | 开本： 大16开
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