关闭预览GB/T 42158-2023 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
GB/T 42158-2023 Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
国家标准
中文简体
现行
页数：28页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42158-2023
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2023-03-17
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2023-07
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司
- 起草人：
- 张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广
- 出版信息：
- 页数：28页 | 字数：48 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 42159-2022 紧固件用钛及钛合金棒材和丝材 2022-12-30
- GB/T 42160-2022 晶界扩散钕铁硼永磁材料 2022-12-30
- GB/T 42161-2022 磷酸铁锂电化学性能测试 首次放电比容量及首次充放电效率测试方法 2022-12-30
- GB/T 42162-2022 生橡胶 毛细管气相色谱测定残留单体和其他挥发性低分子量化合物 热脱附(动态顶空)法 2022-12-30
- GB/T 42163.1-2022 单体浇铸聚酰胺滑轮 第1部分：电梯滑轮 2022-12-30
- GB/T 42164-2022 皮革 化学试验 热老化条件下六价铬含量的测定 2022-12-30
- GB/T 42165-2022 皮革 色牢度试验 耐汗渍色牢度 2022-12-30
- GB/T 42166-2022 充气服装 2022-12-30
- GB/T 42167-2022 服装用皮革 2022-12-30
- GB/T 42168.1-2022 避孕套 临床研究指南 第1部分：男用避孕套基于自我报告的临床功能研究 2022-12-30
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 42251-2022 采矿沉陷区生态修复技术规程
- 2 GB/T 42252-2022 航空用高锁螺母力矩及预紧力测试方法
- 3 GB/T 42253-2022 海岛植被覆盖和开发利用情况监测技术规程
- 4 GB/T 42254-2022 渤海和黄海北部冰情等级
- 5 GB/T 42255-2022 航空航天用不锈钢实心铆钉通用规范
- 6 GB/T 42256-2022 海水中钌-106的分析方法 γ能谱法
- 7 GB/T 42257-2022 铬铒共掺钇钪镓石榴石晶体光学及激光性能测量方法
- 8 GB/T 42258-2022 柔性多孔聚合物材料 恒定形变法测定疲劳性能
- 9 GB/T 42259-2022 金属及其他无机覆盖层 热障涂层耐热循环与热冲击性能测试方法
- 10 GB/T 4226-1984 不锈钢冷加工钢棒
