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GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

GB/T 42106-2022 Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 42106-2022
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
A42 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
国际标准分类号(ICS)
07.030
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
-

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GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
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研制信息

起草单位:
中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
起草人:
顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波
出版信息:
页数:12页 | 字数:22 千字 | 开本: 大16开

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