关闭预览GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 41153-2021 Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 41153-2021
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2021-12-31
实施日期
2022-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2022-07
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司
- 起草人：
- 马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、李素青、张红岩
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 41107.1-2021 金属材料焊缝破坏性试验 焊件的热裂纹试验 弧焊方法 第1部分：总则 2021-12-31
- LY/T 1872-2010 森林生态系统定位研究站数据管理规范 2010-02-09
- GB 10395.9-1996 农林拖拉机和机械 安全技术要求 第9部分：播种、栽种和施肥机械 1996-12-23
- YS/T 222-1996 碲锭 1996-02-02
- CB/T 3782-1996 油漆产品物资分类与代码 1996-12-23
- GB 4706.15-2003 家用和类似用途电器的安全 皮肤及毛发护理器具的特殊要求 2003-06-05
- GB/T 4291-1999 冰晶石 1999-03-04
- GB/T 7727.1-1987 船舶通用术语 综合 1987-04-30
- GB/T 21097.1-2007 家用和类似用途电器的安全使用年限和再生利用通则 2007-09-05
- GB/T 3301-2023 日用陶瓷器规格误差和缺陷尺寸的测定方法 2023-05-23
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 17798-1999 地球空间数据交换格式
- 2 GB/T 31490.1-2015 社区信息化 第1部分：总则
- 3 JG/T 5064-1995 振动桩锤技术条件
- 4 GB/T 3769-2010 电声学 绘制频率特性图和极坐标图的标度和尺寸
- 5 GB 5413.12-2010 食品安全国家标准 婴幼儿食品和乳品中维生素B2的测定
- 6 GB/T 36202-2018 锯材检验术语
- 7 GB/T 10004-2008 包装用塑料复合膜、袋干法复合、挤出复合
- 8 CJ/T 429-2013 汽车库和停车场车位引导装置
- 9 GB/T 7946-2015 脉冲电子围栏及其安装和安全运行
- 10 GB/T 18577.2-2008 土方机械 尺寸与符号的定义 第2部分：工作装置和附属装置
