关闭预览GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
GB/T 41064-2021 Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy,Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 41064-2021
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G04 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2021-12-31
实施日期
2022-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2022-07
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研制信息
- 起草单位：
- 清华大学、中国石油大学(北京)
- 起草人：
- 姚文清、段建霞、杨立平、王雅君、李展平、徐同广、王岩华
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：33 千字 | 开本： 大16开
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