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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

GB/T 4060-2018 Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 4060-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅多晶真空区熔基硼检验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
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研制信息

起草单位：
江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所
起草人：
胡伟、刘晓霞、耿全荣、鲁文锋、王桃霞、胡自强、宗冰、肖建忠、万烨、杨旭
出版信息：
页数：12页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开

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