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GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

GB/T 40566-2021 Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 40566-2021
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H82 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
国际标准分类号(ICS)
29.045
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

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GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
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研制信息

起草单位:
无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院、乐山市产品质量监督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技(镇江)有限公司、集萃新材料研发有限公司、常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司
起草人:
何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强
出版信息:
页数:12页 | 字数:20 千字 | 开本: 大16开