关闭预览GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
GB/T 40110-2021 Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
国家标准
中文简体
现行
页数：28页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 40110-2021
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G04 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-
发布历史
-
2021-12
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研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、华南理工大学
- 起草人：
- 王海、张艾蕊、王梅玲、任丹华、徐昕荣、范燕
- 出版信息：
- 页数：28页 | 字数：44 千字 | 开本： 大16开
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