关闭预览GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 39145-2020 Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 39145-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2021-09
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、无锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司
- 起草人：
- 骆红、潘文宾、赵而敬、孙燕、张海英、徐新华、温子瑛、胡金枝、李素青、马林宝、李俊需
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 37827-2019 城镇供热用焊接球阀 2019-08-30
- GB/T 1973.2-2025 小型圆柱螺旋弹簧 第2部分：尺寸及参数 拉伸弹簧 2025-08-29
- GB/T 13170.11-1991 反射式电视测试图 圆域测试图 1991-09-04
- GB 18071-2000 氯碱厂(电解法制碱)卫生防护距离标准 2000-04-10
- GB/T 16571-1996 文物系统博物馆安全防范工程设计规范 1996-10-23
- YC/T 484.2-2013 晒黄烟 第2部分：包装、标志与贮运 2013-12-31
- GB/T 34497-2017 端子连接器用铜及铜合金带箔材 2017-10-14
- YY 0267-2008 心血管植入物和人工器官 血液净化装置的体外循环血路 2008-04-25
- GB/T 26693-2019 计时仪器 手表机心的形状、尺寸和名称 2019-08-30
- GB/T 35968-2018 降水量图形产品规范 2018-02-06
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 41799-2022 限制性核酸内切酶杂质检测方法
- 2 GB 18393-2001 牛羊屠宰产品品质检验规程
- 3 GB/T 19889.8-2006 声学 建筑和建筑构件隔声测量 第8部分：重质标准楼板覆面层撞击声改善量的实验室测量
- 4 JG/T 5068-1995 地板磨光机
- 5 GB/T 11105-1989 金属粉末 压坯的拉托拉试验
- 6 GB/T 18771.2-2015 烟草术语 第2部分：烟草制品与烟草加工
- 7 GB/T 3672.1-2025 橡胶制品的公差 第1部分：尺寸公差
- 8 LY/T 3291-2021 自然保护地分类分级
- 9 NY/T 638-2002 蜂王浆生产技术规范
- 10 GB/T 19897.1-2005 自动抄表系统低层通信协议 第1部分：直接本地数据交换
