关闭预览GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 39145-2020 Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 39145-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2021-09
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研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、无锡华瑛微电子技术有限公司、龙腾半导体有限公司、厦门科鑫电子有限公司
- 起草人：
- 骆红、潘文宾、赵而敬、孙燕、张海英、徐新华、温子瑛、胡金枝、李素青、马林宝、李俊需
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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