关闭预览GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
GB/T 38976-2020 Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
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格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 38976-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-06-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2021-06
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研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司
- 起草人：
- 王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
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