关闭预览GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
GB/T 38614-2020 Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 38614-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N10 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
国际标准分类号（ICS）
01.040.39
发布日期
2020-04-28
实施日期
2020-11-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)
适用范围
-
发布历史
-
2020-11
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研制信息
- 起草单位：
- 沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学
- 起草人：
- 须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：26 千字 | 开本： 大16开
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