关闭预览GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
GB/T 38447-2020 Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 38447-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2020-07
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研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
- 起草人：
- 张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：32 千字 | 开本： 大16开
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