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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

GB/T 37959-2019 Information model for containing process chamber IC equipment design

国家标准 中文简体 现行 页数：20页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 37959-2019
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J07 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
国际标准分类号（ICS）
35.240.50
发布日期
2019-08-30
实施日期
2020-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
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研制信息

起草单位：
中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院
起草人：
顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰
出版信息：
页数：20页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开

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