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GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备

GB/T 37466-2019 Laser lift-off equipment used for GaN

国家标准 中文简体 现行 页数:20页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 37466-2019
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
L95 氮化镓激光剥离设备
国际标准分类号(ICS)
31-550
发布日期
2019-06-04
实施日期
2019-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
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研制信息

起草单位:
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青
出版信息:
页数:20页 | 字数:30 千字 | 开本: 大16开

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