关闭预览GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 Laser lift-off equipment used for GaN
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 37466-2019
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95 氮化镓激光剥离设备
国际标准分类号（ICS）
31-550
发布日期
2019-06-04
实施日期
2019-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2019-10
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研制信息
- 起草单位：
- 东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：30 千字 | 开本： 大16开
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