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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

GB/T 36705-2018 Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 36705-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H21 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
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研制信息

起草单位:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、杨建
出版信息:
页数:12页 | 字数:11 千字 | 开本: 大16开

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