关闭预览GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
GB/T 36646-2018 Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 36646-2018
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
国际标准分类号（ICS）
31.220
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-01-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2019-01
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研制信息
- 起草单位：
- 东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
- 起草人：
- 刘鹏、孙永健、丁晓民、冯亚彬、王健辉
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：28 千字 | 开本： 大16开
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