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GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

GB/T 36053-2018 Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting

国家标准 中文简体 现行 页数：32页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 36053-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G04 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2018-03-15
实施日期
2019-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度　仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
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研制信息

起草单位：
中国计量科学研究院
起草人：
王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平
出版信息：
页数：32页 | 字数：54 千字 | 开本： 大16开

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